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在小角度V型结构的HL-2M常规偏滤器位形下,采用SOLPS 5.0程序研究了抽气速率Sp对装置粒子排除控制能力及溅射产生的碳杂质分布的影......
如今能源问题越来越受到关注,作为清洁的、可再生能源的一个分支,太阳能产业的发展越来越受到各国的重视。根据欧洲联合研究中心的相......
为了获得具有均匀的倒金字塔表面微结构的多晶硅,提出了一种新腐蚀加工方法.通过建立一个相互正交的超声驻波场,来协助硅的化学侵......
为提高粒子操控的灵活性和精度,一种基于拉盖尔高斯光束的可控螺旋干涉模式被提出.通过理论分析两束拉盖尔高斯光束同轴叠加光场,......
本研究以硫酸铝铵和碳酸氩接为原料,通过强化搅拌速度和添加聚乙二醇PEG2000,制备出纳米球形AACH。且其结晶完整、过滤性好。通过X衍......
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为了将正交超声驻波技术用于多晶硅陷光结构网格化微加工,以达到均匀加工的目的,本文从理论、模拟和实验等方面研究了粒子由无规则......