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移相干涉仪是一种通过在参加干涉的光束中制造相位调制来提取波前相位信息的测量技术.在本文中,我们应用四步算法来获得被测波前的相位图.然后利用自适应非线性中值滤波器去除相位图中的噪音,最后通过区域分辨和相位补偿来实现相位的连续化.实验结果表明系统可重复测试精度为亚纳米量级.
表面形貌的亚纳米精度测量
【摘 要】
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移相干涉仪是一种通过在参加干涉的光束中制造相位调制来提取波前相位信息的测量技术.在本文中,我们应用四步算法来获得被测波前的相位图.然后利用自适应非线性中值滤波器去除相位图中的噪音,最后通过区域分辨和相位补偿来实现相位的连续化.实验结果表明系统可重复测试精度为亚纳米量级.
【机 构】
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中国科学院上海光学精密机械研究所(上海)
【出 处】
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第五届全国微米/纳米技术学术会议
【发表日期】
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2001年8期
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