【摘 要】
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LIGA技术包括同步辐射X光深层光刻、微电铸、微复制3个部分.它能够加工高深宽比的微结构,侧壁陡峭,表面平整.微复制可实现大规模高深宽比三维微结构加工,所用塑料价格低廉、品种繁多,在光学、医学都可有广泛使用.文章作者在HEX01/T-A真空模压系统下对多种高分子材料和不同的图形进行了多次微复制试验,获得了PC、PMMA、结晶POM、PS、PVC材料优化的模压参数,并在这些材料上获得了不同图形的高深
【机 构】
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上海交通大学信息存储研究中心(上海)
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LIGA技术包括同步辐射X光深层光刻、微电铸、微复制3个部分.它能够加工高深宽比的微结构,侧壁陡峭,表面平整.微复制可实现大规模高深宽比三维微结构加工,所用塑料价格低廉、品种繁多,在光学、医学都可有广泛使用.文章作者在HEX01/T-A真空模压系统下对多种高分子材料和不同的图形进行了多次微复制试验,获得了PC、PMMA、结晶POM、PS、PVC材料优化的模压参数,并在这些材料上获得了不同图形的高深宽比的微结构.
其他文献
提出了一种将多孔硅牺牲层应用于制作悬浮薄膜结构的方案.采用专用容器在不同浓度的HF溶液生成了多孔硅,并对其质量进行了比较.高浓度的HF溶液中阳极氧化生成的多孔硅孔隙小、容易被碱性溶液腐蚀,适合于作牺牲层材料.采用TMAH(四甲基氢氧化铵)溶液进行释放,获得了镂空的SiO悬浮薄膜,薄膜面积可达400μm×400μm,该薄膜在制作高性能RF-MEMS器件中有重要用途.
利用惰性气体沉积法在外加电场的存在下生长了纳米晶金薄膜,并研究了外加电场对薄膜生长的影响;实验表明,外加电场改变了纳米晶金薄膜的结构及电阻率.厚度相同的薄膜其电阻率随外加电场强度的升高而增加,当电场强度大于48V/cm后,已不能得到连续的薄膜.惰性气体沉积法生长纳米晶金薄膜的这种电致效应可通过偏置渗透理论获得初步解释.
利用原子力显微镜对与帕金森相关的蛋白质α-synuclein的积聚过程进行了研究.结果表明:α-synuclein在积聚的早期阶段是以寡聚体的形式存在的.并且形成的积聚物的形态也是具有多样性的.
本文主要介绍纳米TiO光催化剂的催化机理及在污水处理,空气净化自动无毒化材料,抗菌等领域的应用,并指出了在该领域研究中存在的问题及发展方向等.
先用液流拉伸单个DNA分子,使之吸附在硅烷处理过的云母的表面,再沿已拉伸的DNA分子的垂直方向用水流冲击,然后用原子力显微镜观察,发现在纳米尺度上已拉伸的单个DNA分子在云母表面形成了一些类似悬链线的图形.我们提出了一个"s-悬桥模型"能解释纳米悬链线图样的特点,而且定量地符合得很好.
介绍了URE-2000/25型紫外光刻机的整机技术指标以及对控制系统的功能要求;较详细地叙述了控制系统的硬件结构组成及控制软件.此控制系统采用了单片机控制技术,具有电路简单、控制灵活、操作方便、运行可靠、成本低廉等特点.
通过化学反应对微芯片材料、管道形状等的要求的分析论述,针对有机聚合物材质,详述了制作化学芯片时根据化学反应体系特性来选择制片技术的有关问题,从化学的角度阐述了有机聚合物在液流式微型化学全分析系统芯片制作的技术和应用.
利用激光脉冲沉积法在钛酸锶SrTiO(001)斜切基片上外延生长YBaCuO薄膜,斜切方向是沿(001)面向[010]方向.在大气、室温条件下,采用扫描探针显微镜(SPM)对YBaCuO薄膜的表面形貌进行观测.SPM清晰地观察到了YBaCuO薄膜的纳米台阶状表面形貌,同时每一台阶又是由若干条更细小的亚台阶组成.可见,SPM将是在大气条件下直接观察外延生长YBaCuO薄膜生长机理的重要研究手段.
介绍了非致冷微测辐射热计红外焦平面阵列器件的结构、原理和应用,给出了利用与集成电路工艺兼容的微机械技术制作微测辐射热计的工艺流程,分析了该器件的优缺点,并给出了成像示例.
设计并实现了一微装配系统,该系统采用了独特的微型运输机器人和微型装配机器人,设计实现了微型压电镊子作为机器人的微操作手,同时还利用压电悬臂梁结构设计了一微型移动平台,宏、微视觉系统的建立为微型装配工作的实现提供了参数采集.系统的建立为开展微器件的自动装配研究提供了一优良的实验平台.