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布鲁克表面测量分析的最新技术及其在多功能薄膜领域的所能提供的综合解决方案。布鲁克三维光学显微镜和探针式台阶仪在对材料表面形貌和结构的直观观察的同时，也可行快速精确的获得表面的各种尺寸，膜厚，糙度等定量信息。
表面测量分析的技术进展及在多功能薄膜领域的应用
【摘 要】
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布鲁克表面测量分析的最新技术及其在多功能薄膜领域的所能提供的综合解决方案。布鲁克三维光学显微镜和探针式台阶仪在对材料表面形貌和结构的直观观察的同时，也可行快速精确的获得表面的各种尺寸，膜厚，糙度等定量信息。
【机 构】
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铂悦仪器(上海)有限公司
【出 处】
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第十五届全国固体薄膜学术会议
【发表日期】
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2016年5期
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