【摘 要】
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介绍一种具有SU-8垂直微镜的静电驱动微型2×2光开关.该光开关用硅表面工艺与SU-8厚胶工艺结合制作,具有自组装、驱动电压低、可扩展为大规模光开关阵列等特点.该光开关利用残余应力使垂直微镜的氮化硅/多晶硅微梁翘离基底,在静电力作用下,微梁带动微镜移动以切换开关状态.本文对光开关的主要力学参数进行了仿真计算,与实验结果基本一致.
【机 构】
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清华大学精密仪器与机械学系(北京)
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介绍一种具有SU-8垂直微镜的静电驱动微型2×2光开关.该光开关用硅表面工艺与SU-8厚胶工艺结合制作,具有自组装、驱动电压低、可扩展为大规模光开关阵列等特点.该光开关利用残余应力使垂直微镜的氮化硅/多晶硅微梁翘离基底,在静电力作用下,微梁带动微镜移动以切换开关状态.本文对光开关的主要力学参数进行了仿真计算,与实验结果基本一致.
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