【摘 要】
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该文介绍了新研制的工业变送器用扩散硅式绝对压力传感器。文中阐述了绝压传感器的设计原理及其关键技术,给出了实验结果,并对研制中的若干问题作了一定的探讨。
【出 处】
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第五届全国敏感元件与传感器学术会议
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该文介绍了新研制的工业变送器用扩散硅式绝对压力传感器。文中阐述了绝压传感器的设计原理及其关键技术,给出了实验结果,并对研制中的若干问题作了一定的探讨。
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