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微型化、智能化已经成为功率半导体的发展趋势,智能功率集成电路(SPIC)正是在这种趋势下得到了快速发展,目前SPIC已广泛应用于照明、工业控制、电子计算机、航空航天设备、国防电子产品、以及各种电子消费品,并已成为功率半导体领域最为活跃的研究方向之一。在当今倡导的节能型社会、以及电子设备小型化的发展趋势中,智能功率集成电路的功耗、成本、体积和可靠性已成为人们最为关注的问题。本论文在探讨了国内外电力电子技术与SPIC技术的发展现状及趋势后,针对上述提到的问题进行了深入研究。基于陈星弼院士提出的“横向优化变掺杂(OPT-VLD)”理论及相关专利,设计了LDMOS器件及横向高低侧功率器件,提出了一种新型高压电平位移电路,同时研究了半桥功率IC中高压器件的隔离技术;本文的研究重点是无需传统电平位移电路的新型半桥功率IC,以及其低压电路与低压电源的实现方法;同时为了提高横向功率器件可靠性,本文还研究两种多数载流子同时导电的横向功率器件,并与单子器件进行了比较。本论文在高校博士点基金的支持下,主要完成了如下工作:1.基于陈星弼院士提出的“OPT-VLD”理论及“横向低侧高压器件及高侧高压器件”中美专利,设计了用于半桥功率IC的LDMOS器件及横向高低侧LDMOS器件,并进行了流片实验;同时,本文还提出了一新型电平位移电路,采用有源电阻代替传统的多晶硅电阻,不仅减少了芯片面积,还提高了可靠性。2.基于陈星弼院士的“一种半导体器件”的中美专利,研究了半桥功率IC中高低侧高压功率器件及电平位移电路中高压器件的隔离技术,实现了将四个高压器件制作于相邻的耐压区内,不仅减少了芯片面积,还解决了传统结构中的高压互连问题,在MEDICI和DAVINCI的仿真结果表明了其可行性。3.提出了两种实现无需传统高压电平位移电路的新型半桥功率IC的方法。该两种方法均是采用片内感应信号的思想,通过在低侧n-LDMOS功率器件上集成一个高压PMOS,通过盆电路控制PMOS的开关而感应到一个脉冲信号,该脉冲信号经过一个低压电路处理后,便可用于控制低侧n-LDMOS功率器件。该方法无需传统的高压电平位移电路,不仅节省了可观的芯片面积,同时还降低了功耗以及消除了传统高压电平位移电路中的寄生效应,从而提高了可靠性。4.设计了用于新型半桥功率IC的CMOS低压电路,主要包括脉冲信号发生器电路、死区时间控制电路;基于陈星弼院士的“低压电源”的中美专利,设计了用于低压电路的正电源及该低压电源的稳压器电路;除此之外,提出了一种新型欠压检测方法,并设计了相关电路;由于控制高压PMOS的栅极需要相对于盆电位为负的电源,因此还通过电路实现了将正电源转换为负电源,为PMOS栅极驱动电路提供电源。5.基于陈星弼院士“一种半导体横向器件和高压器件”的中美专利,研究了两种载流子同时导电的LDMOS器件,而该器件为双栅、四端器件,为了方便应用和控制,提出了采用片内感应信号以控制其中一个栅极的方法,实现了将四端器件变为三端器件,并对所得到的三端np-LDMOS器件与n-LDMOS器件进行了对比研究。