【摘 要】
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该文的研究目的是解决纳米分辨力传感器校准系统中的若干关键技术,如：高位移灵敏度和高平稳微驱动技术、纳米级电容式监测传感技术、柔性工作台技术和一体化测控技术等.该文对
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该文的研究目的是解决纳米分辨力传感器校准系统中的若干关键技术,如：高位移灵敏度和高平稳微驱动技术、纳米级电容式监测传感技术、柔性工作台技术和一体化测控技术等.该文对国内外有关纳米分辨力校准技术的发展及应用状况方面的资料进行了较系统的归纳和评述.在此基础上,该文针对压电陶瓷微驱动器存在迟滞、蠕变和非线性的不良特性,采用电容传感器对压电陶瓷微驱动器的输出位移进行监测,通过实时闭环控制,实现纳米级精确进给.
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