超透镜因易于小型化、集成化,具有替代传统透镜的广阔应用前景。而超透镜的制备严重依赖于电子束光刻方法,制备效率低且运行成本昂贵,难以实现大幅面超透镜的快速制备,严重阻碍了超透镜的推广应用。本文提出了空间光阑与位相光学元件联合调制的傅立叶变换光学系统,并根据傅立叶变换性质、几何光线传播原理分析了系统成像面的干涉光场输出特性;分析了空间光阑分时变化、位相光学元件相对运动时,系统成像面干涉光场的变化规律。在此基础上,明晰了成像面干涉光场的动态生成原理,实现了干涉光场分布区域、结构参量的实时调控,为空间变参量微纳结构的快速制备提供理论基础。针对基于Pancharatnam-Berry位相原理的超透镜,设计了圆与环空间分布下的变参量光栅结构,利用上述干涉光场的生成与调控原理,推导得到透光光阑的形状与尺寸以及位相光学元件的结构分布与相对运动。实验制备所设计的光阑与位相光学元件,并将其置于傅立叶变换光学系统中,通过四次分时曝光,制备了“一圆+三环”的空间变参量超透镜结构,其空间分布形状与尺寸以及内部填充光栅取向、周期等参数的测量值与设计一致。在此基础上,将上述傅立叶变换光学系统与双远心光路、成像物镜相结合,搭建了干涉光刻微缩系统,利用精密位移平台,制备了 2×2与3×3阵列的空间变参量微透镜阵列,为替代电子束光刻、实现微透镜阵列的快速制备提供了新方法。因此,本文提出的空间光阑与位相光学元件联合调制的傅立叶变换光学系统,通过改变空间光阑、平移/旋转位相光学元件,可动态调控系统像面干涉光场,实现了大面积空间变参量微纳结构的分时制备,为超表面器件的快速制备提供理论与工艺基础。