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随着科技发展,高新技术产品日益趋向集成化、超精密化和小型化。面向精密微机电系统器件的微细加工技术已经成为各国研究热点,它决定机械产品的加工精度和表面质量,成为衡量一个国家制造业整体水平的重要标志之一。本文概述了微细加工技术研究应用现状,分析了微细电解加工及超声电解复合微细加工的国内外研究现状,为解决导电性硬韧难切削材料的加工难题,提出了超声频振动复合脉冲电解微精加工新技术构想,进而提出本文研究工作内容。论述微细超声加工、微细电解加工、脉冲电解加工原理、特点以及工艺特性,分析了