固态微波功率器件因其优良特性,有着广泛应用,既在促进各种电子设备实现小型化的过程中至关重要,也开拓了军事民用仪器、信号与图像处理、测量设备研制等领域的新的发展方向。固态微波功率器件直流参数反映了器件实际使用性能,因此对其直流参数进行测量有着迫切需求。本文鉴于国内外对于固态微波功率器件直流参数测量的研究现状,从夹断电压、泄漏电流、饱和漏极电流和跨导四个方面对固态微波功率器件直流参数测量技术展开系统研究。基于实际直流参数测量需求,本文研制了一套固态微波功率器件直流参数测量系统。其中研制了栅极双极性电压源、漏极电压电流源,购置了高压电压源组成测量电源模块,以提供直流参数测量所需要的测量条件,模拟固态微波功率器件实际工作中所处的工作环境。研制了直流参数同轴测量夹具,测量夹具是被测器件与测量源连接的载体,解决因固态微波功率器件封装不同所造成的测量困难。研制了漏极电流测量单元,测量漏极与源极之间的漏源电流,用以计算具体直流参数。开发了固态微波功率器件直流参数测量系统软件,测量系统软件可以连接测量设备,进行设备输出测量的调试,直流参数测量以及测量数据的处理和测量结果的列表输出。依据国家通行的校准规范对固态微波功率器件直流参数测量系统进行性能分析和测量不确定度评定,通过实验验证说明测量系统测量结果的准确性满足课题要求。文本设计的固态微波功率器件直流参数测量系统创新性的实现了测量系统设备的小型化,改进了直流参数测量方法,测量过程中增加BIAS TEE器件模拟固态微波功率器件工作环境,减少测量源与采集设备对测量过程的干扰。测量系统还实现自动化测量被测器件的直流参数,相较于手动测量,效率更高,测量的结果更加准确。通过评定固态微波功率器件直流参数测量结果的测量不确定度,达到验证测量结果准确可靠的目的,使测量系统能够有一定的应用价值。