在使用高倍物镜测量纳米标准样板时,获得高分辨率的样板整体区域的信息是十分重要的。针对高倍物镜下视场区域小的问题,本文提出了基于SIFT图像拼接算法的标准样板测量技术,本文主要研究内容如下:1)对图像拼接涉及的基本理论进行充分研究,结合了标准样板的测量信息,确定实验采用基于特征的模型来完成图像配准,使用渐入渐出加权平均法来实现图像融合。2)对基于SIFT图像拼接算法测量技术进行了详细的阐述和深入的研究。通过预处理转化三维显微图像,实现了图像特征检测、RANSAC算法提纯配准结果、图像融合,最终合成整体样板信息的方案。3)研究了标准样板的台阶高度评价方法,实现了点对点台阶高度评定和国际标准台阶高度评价方法。实验选用SIMT100和小坂400标准样板,通过拼接得到整体区域,对其中台阶的高度进行评价,实验结果表明,台阶高度的测量值在标定值允许误差的范围内。4)研究了标准样板的一维栅距评价方法,采用快速傅里叶变换法和重心法,并编写了评价程序。实验选用10577-003-042标准样板,利用拼接技术得到整体栅格区域,对拼接前后重叠区域栅格间距进行评价。实验结果表明,一维栅距的测量值在标定值区间内。本文提出的测量技术在横向和轴向的测量中,有效扩大了物镜的视野,从而得到标准样板整体区域信息。