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发光二极管(LED)具有节能、环保和长寿命等优点,其具有潜力成为新时代固态照明的主流组件。目前,各界对LED的研究主要着重于大功率的大面积(1×1mm2以上)的LED。增加器件功率同时也意味着LED产生的热量增多,并且作为主流照明使用时,一般需要使用多颗大功率LED模组化来达到所需求的亮度,此时它所产生的热量相当大,因此散热的研究一直是各方研究的重点。基于传统倒装结构LED,本文设计了平面连接型倒装LED,并且着力于研究此结构LED的光电特性和散热性能。与普通正装LED相比,倒装结构LED所产生的热量经过高导热性的金球凸点,然后经由硅基板有效排出,提高了散热能力。然而倒装结构只有在使用多颗(≥4)金球时,其散热特性才会比正装LED通过蓝宝石基板传递热量要好。随着金球数量增加,LED器件的制备工艺和反向漏电流也随着增加,而且金球的数量不能无限制的增加,所以金球与硅基板的接触面积十分有限,限制了倒装LED散热性能的进一步提升。为此文章提出平面连接型倒装LED结构,即将芯片与硅基板使用平面连接,极大地增加了芯片与基板间的接触面积,提高了散热性能。本文的主要研究内容如下:(1)设计了新型平面倒装结构LED,解决了普通倒装结构中金球和基板的接触面积有限的问题。新结构将正负电极引入在同一个平面上,从而实现倒装LED芯片和基板的平面连接,理论上可以极大提升器件的散热性能和温度均匀性。(2)对平面倒装结构LED和普通倒装LED结构进行了建模和仿真。采用三维有限元分析方法,获得了它们在稳态情况下的温度场和电流分布结果,结果表明平面结构能够很好的提升LED的散热性能。同时也对采用不同热导率材料作为绝缘层时的器件进行了仿真,排除了3000低热导率绝缘层的插入会影响器件散热的嫌疑。(3)根据实验室条件,设计了平面倒装结构LED的工艺流程,通过查阅相关文献和不断地试验,对其中芯片和倒装基板两部分的关键工艺进行了深入研究,验证了各单项工艺的可行性,最后确定了各个工艺步骤和各项工艺参数。(4)根据工艺流程设计了平面倒装结构LED的一整套版图,通过对各单项工艺的整合在同一外延片同时制备获得了正装,传统金球连接倒装LED,以及三种平面倒装LED芯片,最后对这几种类型的LED进行了光电性能与散热性能的测试和分析。