论文部分内容阅读
本文介绍了一适用于离子辅助淀积薄膜的宽束离子源。描述了离子束轰击对TiO<sub>2</sub>/SiO<sub>2</sub>、ZnS/MgF<sub>2</sub>两种介质滤光膜以及Al-SiO<sub>2</sub>、单层Cu两种反射膜的性能的变化。研究了离子辅助淀积对薄膜的牢固度、附着性、抗蚀性和稳定性等性能的改善和提高。结果表明,离子辅助淀积对金属膜性能的改善与对介质膜性能的改善一样显著。