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以场发射基本原理为基础，简化三极管阵列模型，采用有限差分法对微孔径场发射阵列进行了三维模拟。通过改变栅极孔径和尖锥高度并保持其它参数不变的情况，从而获得阳极电子束斑的直径。得到不同情况下的阳极电子束光斑直径的变化。分析了导致电子束光斑大小变化的原因。得出与实际相符合的数值模拟，为试验提供设计依据。