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以JSM-6460扫描电子显微镜为例,介绍了扫描电子显微镜的常见故障现象,分析故障产生原因,详细阐述了控制系统、电子光学系统、法拉第杯、显示信号、机械泵等方面故障的处理、解决方法.
JSM-6460扫描电子显微镜常见故障分析与排除
【摘 要】
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以JSM-6460扫描电子显微镜为例,介绍了扫描电子显微镜的常见故障现象,分析故障产生原因,详细阐述了控制系统、电子光学系统、法拉第杯、显示信号、机械泵等方面故障的处理、
【机 构】
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西北有色金属研究院材料分析中心
【出 处】
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西安文理学院学报(自然科学版)
【发表日期】
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2017年03期
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