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微机电系统（MEMS）是基于微机械或微电子技术的微型机电器件或系统，主要包括微传感器、微执行器、微系统等。MEMS作为新兴的高技术产业之一，已成为世界各国政府竞相争夺的技术制高点之一。本文通过对MEMS领域的SCI文献计量分析，结果显示，近年来，该领域的研究呈现出增长趋势，美国在MEMS领域的研究处于绝对领先的地位。SCI文献分析表明，薄膜、微加工、封装、传感器等是近年来研究的热点领域。