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本文扼要介绍了一种崭露头角的微电子机械系统的应用前景，以及它的最新工艺技术。并预示在推进ＭＥＭＳ工艺的前提下，ＭＥＭＳ产品将大有作为。
从微电子器件到微电子机械系统
【摘 要】
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本文扼要介绍了一种崭露头角的微电子机械系统的应用前景，以及它的最新工艺技术。并预示在推进ＭＥＭＳ工艺的前提下，ＭＥＭＳ产品将大有作为。
【出 处】
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电子工业专用设备
【发表日期】
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1995年3期
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