氧化铝薄膜相关论文
刚玉结构的α-Al2O3具有高温硬度高,化学稳定性好,电绝缘性高和抗氚渗透性能好等优异的综合性能,在高速钢刀具涂层、微电子领域和......
随着科技的发展,半导体领域工艺制造水平越来越高,传统的硅基半导体器件已变得不适用。石墨烯材料由于自身的高载流子迁移率、低电......
学位
Al2O3 films are deposited using ion beam sputtering (IBS), ion beam reactive sputtering (IBRS), and electron beam evapor......
用中频孪生靶磁控溅射法沉积制备了掺铒、镱铒共掺AlO薄膜,探索了氧气氩气分压、不同衬底、镱铒共掺杂、掺杂浓度、后退火温度、退......
现阶段存储器正在朝着高密度、高速度、低功耗的方向迅速发展,给人们的生活带来极大的方便。纳米硅浮栅存储器作为新一代非挥发浮......
半导体工艺水平逐步强大,器件的尺寸逐渐微缩化,Al_2O_3薄膜因为自己本身的高介电常数、高带隙、高透光率得到广泛的研究。其作为......
学位
1.剩饭菜需凉透再放入冰箱。热食物突然进入低温环境,食物中心易变质,且带入的热气会引发蒸气凝结,促使霉菌生长,从而导致整个冰箱内食......
采用非水解溶胶-凝胶法通过浸渍溶胶提拉法在陶瓷过滤管上制备氧化铝薄膜,薄膜孔径分布窄,大小为10 nm左右,晶体粒径大小为20 nm左......
Flash是目前应用最广泛的非易失性存储器,由于存在器件间耦合的问题,限制了其尺寸的进一步减小,急需寻找可替代的新型非易失性存储......
用中频磁控溅射方法(MFS)在SiO2/Si基底上制备了五组固定掺铒浓度不同镱铒浓度比率的镱铒共掺Al2O3薄膜样品。优化了实验参数,扫描电......
Al2O3是一种新型的Ⅲ-Ⅵ族宽禁带半导体材料,Al2O3薄膜在从紫外至中远红外光谱范围内透明度高、吸收小,具有良好的物理和化学性质,是......
高温Sm2Co17永磁体由于其优良的温度特性,在高温湿热环境中得到了广泛的应用,但是在高温湿热环境中磁体的表面氧化,对磁体的磁性能损......
利用晶体硅太阳能电池发电是解决当今环境问题和能源短缺问题的重要途径之一。通过新技术新工艺打破传统提高太阳能电池的转换效率......
钨铼热电偶具有温度-电势线性关系好、热稳定性可靠、价格低等优点,可以部分取代昂贵的铂铑热电偶,但是钨铼热电偶在高温氧化气氛......
有机电致发光二极管(Organic Light-Emitting Diode,OLED)具有自发光、对比度高、全视角、耗电低、制备工艺简单等显著优点。由于O......
近年来,光纤传感技术由于其较大的灵敏度和小型化的优点,且可应用于电磁干扰,腐蚀和高温高压等恶劣环境,被认为是新型高科技产业之......
本文利用反应溅射制备了厚度为8nm到100nm的非晶或微晶Al2O3薄膜,并对其多项电学性能对工艺的依赖性作了研究,特别是对样品的时......
本文阐述了近年来国内外在金属/介质纳米复合结构制备及其物性研究方面的现状,评述了人们采用多孔氧化铝(AAO)模板制备纳米有序阵列......
本论文分为两部分,一是在激光和等离子体特性研究的基础上进行激光和等离子体的应用探索,利用基于电子回旋共振(electron cyclotro......
针对传统磁控溅射方法沉积氮化钛涂层时存在沉积温度高、等离子体密度低;而沉积氧化铝薄膜时,条件范围很窄,较难控制,同时也很难获得......
1 引言rn由于氧化铝薄膜具有令人关注的优异性能,如高温稳定性、化学稳定性、低的热导率和电导率等,目前利用化学气相沉积(CVD)涂......
铁锅是我们日常生活中不可缺少的烹调炊具,它不仅具有坚实、耐用、受热均匀及炒、炖出来的菜肴味道鲜美等特点,而且用铁锅炒菜,还能使......
采用中频磁控反应溅射工艺进行氧化铝薄膜的沉积实验,对该工艺过程中溅射电压和沉积速率与氧流量的“迟滞回线”现象进行了研究。......
摘译在聚合物表面沉积一层薄膜可以有效阻止氧气和水蒸气的渗透,目前比较常用的阻隔膜为氧化铝薄膜和氧化硅薄膜。氧化铝薄膜具有......
氧化铝薄膜因对晶体硅材料具有理想的钝化效果,在晶体硅太阳电池领域被认作是一种优良的减反射材料.概述了氧化铝薄膜的钝化特性,......
采用直流反应磁控溅射工艺,进行了一系列在PET塑料薄膜表面沉积氧化铝的实验,研究了氩气(Ar)、氧气(O2)和溅射功率对所制备的A12O3......
用反应溅射方法制备了非晶氧化铝薄膜;以Al/a-Al2O3/Al电容器为载体,研究了此种电容器的电容量,随样品放置时间的衰减过程及其影响......
采用直流反应磁控溅射工艺,进行了一系列在PET塑料薄膜表面沉积氧化铝的实验,研究了氩气(Ar)、氧气(O2)和溅射功率对所制备的Al2O3薄膜透......
通过Mo(CO)6的热分解制备了Al2O3薄膜负载的金属钼模型催化剂,并采用热脱附谱(TDS)和X射线光电子能谱(XPS)原位研究了CO在金属态Mo......
利用阳极氧化法制备的氧化铝薄膜是非晶态的并且表面呈高度有序的多孔结构。经过太阳光照射后氧化铝薄膜具有明显的热释光现象,发光......
高密度储能电容器是当前研究的热点,为探究氧化铝薄膜在高密度电容器中潜在的应用,采用直流磁控溅射方法制备了氧化铝薄膜,薄膜质......
研究了以异丙醇为主要原料,异丙醇为溶剂,添加乙酸乙酯作为螯合剂,利用溶胶-凝胶法在碳化硅表面浸涂厚约0.5μm的Al2O3多晶膜。用XRD,IR,S......
(接上期)宝石光印花所用的宝石发光粉是将氧化铝薄膜包覆在二氧化钛微粒上,由于两者光线的屈折率相差很大,对光线有很强的折射效果。与......
假设薄膜和基体界面处于理想结合状态,基于应变协调理论,采用有限元软件(ANSYS8.0)分析了不同膜基比(hc/hs)和开孔对氧化铝薄膜/铝合金基体......
用溶胶-凝胶法制备了γ-氧化铝膜,发现γ-氧化铝膜呈(110)择优取向,前体勃母石凝胶膜的择优取向越明显、焙烧温度越高,形成的γ-氧化铝膜的择优......
通过线性微波化学气相沉积(LMW-PECVD)技术在P型单晶样品上高生长速度下制备了高质量的AlOx薄膜,采用场发射电子扫描显微镜、光学椭......
应用直流磁控反应溅射技术在不锈钢基体上制备Al2O3薄膜,研究了溅射气压、氧气流量和基体温度对Al2O3薄膜的沉积速率和膜基结合力......
为了确定电解电压与氧化铝薄膜纳米孔孔径之间的内在关系,以20%的磷酸为电解液,在40~150 V的电解电压范围内,对铝基材实施阳极氧化......
用电沉积-烧结方法在渗铝耐热钢表面制得均匀致密的Y2O3薄膜,研究其对渗铝HK40钢分别在850℃、1000℃等温氧化行为的影响.结果表明......
研究温度对阳极氧化铝薄膜纳米孔自组织过程的影响。使用环境扫描电镜(ESEM)研究了铝试样在硫酸、草酸、磷酸溶液中,于不同电解温度下......
采用射频磁控反应溅射法,以高纯Al为靶材,高纯O2为反应气体,在不锈钢和单晶Si基片上成功地制备了氧化铝(Al2O3)薄膜,并对氧化铝薄膜的沉......