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针对解析法研究研磨轨迹存在建立数学方程烦琐，参数变化后需反复求解和重新模拟轨迹等问题，提出了采用虚拟样机技术研究轨迹的方法。以铰链四杆单面抛光机构为研究对象，运用ADAMS软件实现了晶片单面抛光的运动轨迹仿真。结果表明，使用虚拟样机技术能够快速、准确地获得铰链四杆单面抛光机构驱动下晶片质心的运动轨迹，并且轨迹形状主要由机构输入的运动参数决定。