【摘 要】
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低压化学蒸汽淀积(LPCVD)薄膜技术发展很快,在集成电路、太阳能电池研制中占有重要地位,本文在一维LPCVD计算机模拟的基础上,进一步提出了三维模拟算式,以便
Low pressure
【机 构】
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复旦大学,复旦大学,复旦大学,复旦大学
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低压化学蒸汽淀积(LPCVD)薄膜技术发展很快,在集成电路、太阳能电池研制中占有重要地位,本文在一维LPCVD计算机模拟的基础上,进一步提出了三维模拟算式,以便
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