【摘 要】
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本文简要报导用射频放电分解碳—氢化合物生长非晶碳膜的初步实验情况。生长膜的硬度和透过率均能满足红外器件用作增透膜的要求,为进一步进行设备研制打下了可靠的工艺基础
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本文简要报导用射频放电分解碳—氢化合物生长非晶碳膜的初步实验情况。生长膜的硬度和透过率均能满足红外器件用作增透膜的要求,为进一步进行设备研制打下了可靠的工艺基础。
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