【摘 要】
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为给步进扫描光刻机的设计研究提供理论指导，解决光刻机掩模台、工件台由于高速运动而引起光刻机工作核心部分——工作平台的振动问题，根据工业应用中步进扫描光刻机的运动特点
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为给步进扫描光刻机的设计研究提供理论指导，解决光刻机掩模台、工件台由于高速运动而引起光刻机工作核心部分——工作平台的振动问题，根据工业应用中步进扫描光刻机的运动特点和工作要求，设计了一种内部世界和外部世界用精密6自由度减振器连接的步进扫描光刻机隔振试验装置；建立了内部世界6自由度的动力学模型，运用设计的参数计算出了内部世界的固有频率和对应的振型；同时运用ANSYS有限元软件进行了分析计算，两者的计算结果吻合很好，验证了动力学模型的正确性。
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