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沉积在涂Pt RuO2电极上铁电Pb（Zr,Ti）O3薄膜的电学特性

来源 :电子材料快报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：jmyjmhcaihiong_11

【作 者】

：

苏宇欢 

【出 处】

：

电子材料快报

【发表日期】

：

1999年5期

【关键词】

：

铁电薄膜 沉积 电极 电学特性 Pb基 

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