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莫尔条纹三维精细测量方法的研究与应用
莫尔条纹三维精细测量方法的研究与应用
来源 :上海工程技术大学学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:zkinchow
【摘 要】
:
以微电子基板的三维形貌测量为背景,研究了莫尔条纹精细测量机械量的机理与方法。为微电子基板及其他信息产品(如电视机荫罩)提供非接触、快速和高精度的测量技术。
【作 者】
:
裘建新
檀亮
钟平
【机 构】
:
上海工程技术大学机械工程学院,上海交通大学机械与动力工程学院,东华大学理学院
【出 处】
:
上海工程技术大学学报
【发表日期】
:
2007年1期
【关键词】
:
莫尔条纹
三维形貌
测量
图像处理
moiré fringe
3-D topography
measurement
image process
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以微电子基板的三维形貌测量为背景,研究了莫尔条纹精细测量机械量的机理与方法。为微电子基板及其他信息产品(如电视机荫罩)提供非接触、快速和高精度的测量技术。
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