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本文利用微区薄层电阻测试的一种斜置四探针新方法，将扩散微区薄层电阻测试结果绘成全乍的灰度图，这种微区薄层电阻测试Ｍａｐｐｉｎｇ技术十分有利于评价材料的质量。在测试过程中应用微处理器，可立即数字显示相应的测量电压及微区的薄层电阻，加快了计算速度并有利于控制探针的合适位置。
微处理器在微区薄层电阻测试Mapping技术中的应用
【摘 要】
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本文利用微区薄层电阻测试的一种斜置四探针新方法，将扩散微区薄层电阻测试结果绘成全乍的灰度图，这种微区薄层电阻测试Ｍａｐｐｉｎｇ技术十分有利于评价材料的质量。在测试过程中应用微处理
【机 构】
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河北工业大学电子工程系,天津计量技术研究所,天津第四半导体器件厂
【出 处】
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半导体技术
【发表日期】
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1997年3期
【基金项目】
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国家自然科学基金
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