凸版印刷与IBM合作开发22纳米光掩膜

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来自上海凸版(Toppan)光掩膜有限公司消息,日本凸版印刷株式会社近日宣布,已与IBM签署新的开发合约,它涵盖了后期的32纳米和全部22纳米光掩膜工艺开发。该项联合开发于2008年6月开始,在IBM的英国艾塞克斯郡的柏灵敦工厂进行。在此之前,凸版印刷与IBM在2005年已开始了45纳米光掩膜工艺的开发,并且在2007年延伸到了32纳米掩膜开发。
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