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林德集团最近宣布,其为积塔半导体建造的一台制氮机在上海开机成功,林德与积塔半导体签订了一份为期20年的超高纯工业用气供应合约,目前开机运行的为计划建造的两台高纯制氮机中的第一台,第二台预计将于2022年上线启用。该台制氮机位于上海临港产业区.
林德启用全新制氮机,为积塔半导体供气
【摘 要】
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林德集团最近宣布,其为积塔半导体建造的一台制氮机在上海开机成功,林德与积塔半导体签订了一份为期20年的超高纯工业用气供应合约,目前开机运行的为计划建造的两台高纯制氮
【机 构】
：
不详
【出 处】
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上海化工
【发表日期】
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2020年3期
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