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通过辉光放电质谱法（GDMS）测定了高温合金中的C，Mg，Al，P，S，Ti，V，Cr，Mn，Fe，Co，Cu，Nb，Mo，W共15种元素。对辉光放电参数如电流、电压、预溅射时间进行了优化；对高温合金中的质谱干扰进行了分析并详细叙述了各分析元素的干扰情况。选择丰度大且不受干扰或干扰少的同位素用于分析，大多数元素测定结果很好。对于仍存在干扰的元素通过数学校正的方法进行质谱干扰校正。建立干扰校正公式，成功地消除了62^Ni^2＋和36^Ar^12C^＋对31^P^＋和48^Ti^＋的质谱干扰。在优化的实验条件