【摘 要】
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临界角法探焦分辨力高、动态范围适中、结构简单、系统调试容易.采用临界角棱镜、光电探测器等器件组成光路得到离焦信号便可计算出离焦量.实验采用单光路临界角法,用四象限
【机 构】
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长春光学精密机械与物理研究所,长春光学精密机械与物理研究所
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临界角法探焦分辨力高、动态范围适中、结构简单、系统调试容易.采用临界角棱镜、光电探测器等器件组成光路得到离焦信号便可计算出离焦量.实验采用单光路临界角法,用四象限探测器探测输出信号,物面微位移采用压电陶瓷作为驱动元件.通过对离焦误差信号FES的分析,得出临界角法探焦静态分辨力优于0.02μm、线性范围可达±4.5μm.
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