MEMS变形镜用PZT厚膜致动器阵列的制备及性能表征

来源 :纳米技术与精密工程 | 被引量 : 0次 | 上传用户：sworc

【摘要】

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提出了一种基于锆钛酸铅（PZT）压电厚膜致动器阵列驱动的MEMS微变形镜，建立了该微变形镜的结构模型，分析了其结构中各层厚度对其性能的影响．PZT压电厚膜是通过基于PZT压电陶瓷体材

【作者】

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许晓慧冯艳刘爽李保庆褚家如

【机构】

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中国科学技术大学精密机械与精密仪器系

【出处】

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纳米技术与精密工程

【发表日期】

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2007年4期

【关键词】

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变形镜压电陶瓷锆钛酸铅(PZT)厚膜刻蚀 deformable mirror PZT ceramics PZT thick fill etching

【基金项目】

：

国家高技术研究发展计划（863）项目,科学院创新项目（KGCX3-SYW-407-03-09）

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提出了一种基于锆钛酸铅（PZT）压电厚膜致动器阵列驱动的MEMS微变形镜，建立了该微变形镜的结构模型，分析了其结构中各层厚度对其性能的影响．PZT压电厚膜是通过基于PZT压电陶瓷体材料的湿法刻蚀技术制备的。刻蚀液为1BHF：2HCl：4NH4Cl：4H2O．以数字锁相方法测试了压电厚膜的介电性能，在100kHz以下时，其介电常数和介质损耗分别优于2400和3％．利用悬臂梁方法测试了压电厚膜的以，横向压电系数，约为-250pm/V．制备了4×4阵列的压电致动器阵列．采用激光多普勒测试压电致动器的电

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