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安捷伦公司提供了一种深紫外镀膜技术，用于高精度光刻机的光学元件方面。据称这种膜层能够提高光学元件的寿命，减少维修及系统的停机时间。
深紫外膜层
【摘 要】
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安捷伦公司提供了一种深紫外镀膜技术，用于高精度光刻机的光学元件方面。据称这种膜层能够提高光学元件的寿命，减少维修及系统的停机时间。
【出 处】
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光机电信息
【发表日期】
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2008年5期
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