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在投影光刻中矢量衍射理论适用于研究照明光的偏振态对空间成像的影响.主要研究了在离轴照明方式下照明光的偏振态对线条图形的影响.发现在高数值孔径时光的偏振状态严重影响了离轴照明空间成像,结果表明可以通过控制照明光的偏振态来改善光学系统的分辨率.
离轴照明空间成像的偏振光影响研究
【摘 要】
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在投影光刻中矢量衍射理论适用于研究照明光的偏振态对空间成像的影响.主要研究了在离轴照明方式下照明光的偏振态对线条图形的影响.发现在高数值孔径时光的偏振状态严重影响
【机 构】
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中国科学院光电技术研究所
【出 处】
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微细加工技术
【发表日期】
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2003年3期
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