2. 您的位置
3. 首页
4. 期刊论文
5. GaAs-LED阵列器件隔离沟槽的制备研究

GaAs-LED阵列器件隔离沟槽的制备研究

来源 :城市道桥与防洪 | 被引量 : 0次 | 上传用户：hoko0428001

【摘 要】

：

良好的电学和光学隔离能显著提高微LED阵列器件的亮度、分辩率等工作性能,高深宽比隔离沟槽的制备是决定电学隔离效果的关键.本文分析比较了各种制备工艺,选择湿法腐蚀工艺,

【作 者】

：

李佳 梁静秋 金霞 孔庆峰 候凤杰 王维彪 

【机 构】

：

中国科学院长春光学精密机与物理研究所应用光学国家重点实验室,长春,130031中国科学院研究生院,北京,100039;中国科学院长春光学精密机与物理研究所应用光学国家重点实验室,长春,130031;

【出 处】

：

城市道桥与防洪

【发表日期】

：

2004年期

【关键词】

：

GaAs 发光二极管阵列 高深宽比结构 湿法腐蚀 

下载到本地 , 更方便阅读

下载此文 赞助VIP

声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架

论文部分内容阅读

良好的电学和光学隔离能显著提高微LED阵列器件的亮度、分辩率等工作性能,高深宽比隔离沟槽的制备是决定电学隔离效果的关键.本文分析比较了各种制备工艺,选择湿法腐蚀工艺,使用了不同比例柠檬酸双氧水腐蚀液对GaAS进行了腐蚀,在二者配比为3:1的条件下,在GaAS衬底材料上制备了深宽比为2:1的隔离沟槽.腐蚀后芯片表面平整度、侧蚀等指标初步达到器件设计的要求.

其他文献

《铁的重要化合物》教学设计

本文通过对荣华二采区10

期刊

例谈英语课堂中的反思性教学

【摘 要】 反思性教学既是一种教学理论，也是教学主体借助行动研究不断探究与解决自身和教学目的以及教学工具等方面问题，将“学会教学”与“学会学习”统一起来，努力提升教学实践合理性，使自己成为学者型教师的过程。本文以教学反思理论为依据，结合自身教学实践从教学理念、教学设计、课堂实施三个方面的教学行为阐述在教学实践中如何进行教学反思，从而更好地利用教学反思来指导教学，促进教师的专业发展。　　【关键词】

期刊

英语课堂反思性教学课堂实践

课堂教学激活学生自主学习

【摘 要】 教师要充分发挥学生的主体地位，创设民主、和谐的环境和氛围，注重挖掘学生自身学习的渴望和潜能。　　【关键词】 课堂教学 激活 学生 自主学习　　现代教育教学思想主要是引导发挥人的主体性和自我实现，促使受教育者由他发到自发、由他律到自律、由他教到自教的转化。切切实实把学生放在学习和发展的主体的地位，真正体现学为主体、教为主导。在课堂教学中我们应该做到以下几方面。　　1. 让学生有充分感知的

期刊

课堂教学激活学生自主学习

以学生为中心的初中英语阅读有效教学研究

【摘 要】 阅读在初中英语教学当中是一个重点，也是一个难点。通常教师都是通过题海战术来提高学生的英语阅读水平，大量地做英语阅读题然后教授与讲解阅读的经验和技巧，而忽略了培养初中生的阅读策略。教育教学的方式方法一直在不断的改革和完善之中，以学生为中心的教学方法在初中英语阅读教学当中如何有效地运用，真正地做到以学生为中心，最终达到提高初中生英语的阅读能力的目的，是本篇文章讨论的重点内容。　　【关键词】

期刊

初中英语阅读学生中心

浅析高中英语课堂教学策略

【摘 要】 课堂教学是高中英语学习的主要场所，教师应该对其进行系统性研究，做到与时俱进，充分考虑学生的实际情况，确保英语教学的顺利进行。　　【关键词】 高中英语 课堂教学 策略　　随着教育环境的不断发展和变化，高中英语课堂教学的目标、内容、方法、评价体系等内容都已经发生了一定的变化，需要高中英语教师积极体会与应对。针对高中英语课堂教学这一领域，面对课程内容逐步呈现基础性、选择性、时代性的特点，高中

期刊

高中英语课堂教学策略

如何提高合作学习在高中英语教学中的作用

【摘 要】 随着新课程改革的逐渐深入，课堂教学模式正在逐渐变化，合作学习模式得到了普遍的应用，并且有效提高了学生学习的兴趣与积极性，实现了预期的教学效果。本文主要对合作学习在高中英语教学中的作用进行分析，提出提高合作学习作用的策略。　　【关键词】 高中英语教学 合作学习 作用 策略　　随着新课程标准的逐渐实施，在课堂教学过程中越来越重视学生学习能力的培养，使得合作学习模式得到了广泛的应用。合作学习

期刊

高中英语教学合作学习作用策略

例谈“学为中心”的初中英语读写课教学

【摘 要】 本文以七年级上册第八模块Choosing presents读写课的磨课过程为案例，通过问题分析和反思后的行动改进，探讨了基于“学为中心”的初中英语读写课有效教学活动的设计。　　【关键词】 初中英语 写作教学 读写课 磨课　　在初中英语教学中，读写课是非常重要的课型，这与英语语言学习规律和现阶段学生的总体写作水平是分不开的。笔者所教的学生为刚适应初中学习的七年级新生，他们对初中阶段新的英

期刊

初中英语写作教学读写课磨课

关于初中英语教师课堂教学行为的有效性探究

【摘 要】 随着科学技术的进步和社会的不断发展，我国的教育事业蒸蒸日上，所以对课堂教学教学的要求也越来越严格。英语教学作为课堂教学的重要的一门学科，教学质量的好坏高低对学生的成长和全面发展具有十分重大的意义和深远的影响。特别是在初中英语课堂教学中，教师要培养学生主动学习、自主学习的能力，激发学生对英语学习产生浓厚的兴趣，从而达到提升英语课堂教学质量的发展目标和要求，实现英语课堂的高效率。　　【关键

期刊

初中英语教学英语课堂教学行为英语教学有效性研究

高中英语阅读教学中情景教学法的运用分析

【摘 要】 英语阅读作为高中英语教学中的重点、难点，是英语教学中最重要的一部分。就目前来讲，我国高中在英语阅读教学中仍存在许多不足之处。本文以情景教学法的理论知识为出发点，分析了情景教学法在高中英语阅读教学中的运用。　　【关键词】 高中英语阅读 情景教学法 运用分析　　阅读作为一种基本的语言技能，在英语教学中占有重要的地位，学生的阅读能力是指学生对英语阅读文章的理解能力、信息收集能力的综合反应，是

期刊

高中英语阅读情景教学法运用分析