【摘 要】
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本文对在GaAs中进行Zn扩散的工艺作了研究和分析,给出了扩散深度和时间、温度的关系曲线,对改善GaAs器件的性能有一定参考价值。
In this paper, the process of Zn diffusi
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本文对在GaAs中进行Zn扩散的工艺作了研究和分析,给出了扩散深度和时间、温度的关系曲线,对改善GaAs器件的性能有一定参考价值。
In this paper, the process of Zn diffusion in GaAs is studied and analyzed, and the relationship between diffusion depth and time and temperature is given, which has some reference value to improve the performance of GaAs device.
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