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期刊论文
镀层内应力测试仪的研制
镀层内应力测试仪的研制
来源 :电子工艺技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:forbj
【摘 要】
:
镀层内应力是影响镀层质量的重要因素,文中介绍了一种新型镀层内应力测量仪器,它能够连续测量镀层内应力,自动打印测量结果,绘制镀层内应力曲线。
【作 者】
:
张金凤
王明生
【机 构】
:
电子部第二研究所
【出 处】
:
电子工艺技术
【发表日期】
:
1996年5期
【关键词】
:
电镀层
内应力
应力测试仪
金属镀层
Depositioninternal stressMeasuringtechnology
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镀层内应力是影响镀层质量的重要因素,文中介绍了一种新型镀层内应力测量仪器,它能够连续测量镀层内应力,自动打印测量结果,绘制镀层内应力曲线。
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