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研究了在低温磁控溅射沉积TiN薄膜过程中，基体表面粗糙度对成膜过程以及摩擦学性能的影响．研究结果表明，低温磁控溅射沉积处理一般不改变基体原始表面形貌，对基体的机加工状态有遗传性或复制性．摩擦磨损试验表明，随着基体的表面加工精度提高，表面粗糙度降低，摩擦副的磨损明显减小，摩擦因数也有减小的趋势．
基体表面粗糙度对低温磁控溅射TiN的影响研究
【摘 要】
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研究了在低温磁控溅射沉积TiN薄膜过程中，基体表面粗糙度对成膜过程以及摩擦学性能的影响．研究结果表明，低温磁控溅射沉积处理一般不改变基体原始表面形貌，对基体的机加工状态有
【机 构】
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武汉理工大学可靠性工程研究所
【出 处】
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三峡大学学报：自然科学版
【发表日期】
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2006年1期
【基金项目】
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国家自然科学基金项目（50479016）
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