【摘 要】
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在超精密计量测试和超精密加工领域中,具有高质量水平姿态的气浮隔振平台是进行精密测量和大规模集成电路制造的基本保证.超精密隔振特别是极大规模集成电路加工制造过程的隔
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在超精密计量测试和超精密加工领域中,具有高质量水平姿态的气浮隔振平台是进行精密测量和大规模集成电路制造的基本保证.超精密隔振特别是极大规模集成电路加工制造过程的隔振,要求隔振器在具有优异的隔振性能的同时还要具有超精密位置控制精度,而以往的隔振器存在结构复杂、制造成本高、需要性能优异的传感器和作动器等问题.
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