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采用磁控溅射方法在玻璃基片上制备TiO2薄膜。应用XRD物相分析法测定薄膜的组成，通过有色液滴扩散法及水滴凝结速率和温度差的方法检测薄膜的亲水性能及防雾性能。研究结果表明：镀膜有效地阻止了液滴的扩散，促进了水雾的消散，能起到较好地防雾作用。
磁控溅射法沉积TiO2薄膜及其防雾性能研究
【摘 要】
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采用磁控溅射方法在玻璃基片上制备TiO2薄膜。应用XRD物相分析法测定薄膜的组成，通过有色液滴扩散法及水滴凝结速率和温度差的方法检测薄膜的亲水性能及防雾性能。研究结果表
【机 构】
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沈阳理工大学材料科学与工程学院
【出 处】
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沈阳理工大学学报
【发表日期】
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2017年1期
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