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本文评述了中国自８０年代开展半导体传感器研究以来的情况，内容包括概述，各种ＩＳＦＥＴ器件，分析技术等。
半导体传感器在中国的研究和发展
【摘 要】
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本文评述了中国自８０年代开展半导体传感器研究以来的情况，内容包括概述，各种ＩＳＦＥＴ器件，分析技术等。
【机 构】
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陕西渭南师范专科学校化学传感器研究室,陕西渭南师范专科学校化学传感器研究室714000,714000
【出 处】
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传感器世界
【发表日期】
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1998年3期
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