微致动器相关论文
随着时代的进步,器件逐渐小型化和集成化。将热、电、光等其他形式能量转化为机械能的致动器更是如此。人们需要微致动器（micro-act......
本文以电致伸缩微致动器为驱动源,采用Ⅰ型弯张结构设计了一种新型的低频声纳换能器.由于微致动器具有大的应变量、高驱动力和良好......
作为超精密隔振系统的核心部件,超磁致伸缩微致动器的工作性能直接影响隔振精度。在建立超磁致伸缩微致动器的轴对称模型的基础上,......
在引信及环境传感系统中的应用在引信设计中,实现多功能和减小体积一直存在着尖锐的矛盾,而微机电系统技术的发展为缓解这种矛盾......
压电薄膜在微传感器和微致动器方面的应用日益受到重视。薄膜压电性能的测量方法与体材相比有很大不同。本文介绍了几种测量薄膜压......
综合考虑温度、预应力及碟簧非线性的影响建立超磁致伸缩微致动器(GMA)车削加工系统非线性动力学模型;并根据精确反馈线性化的滑模......
针对颤振现象对超磁致伸缩微致动器在精密加工过程中影响，建立了综合考虑由于再生型颤振对工件及对超磁致伸缩微致动器共同影响的超......
人工实现自然界动物所具有的复杂运动机能,使之更完善、并应用于工业生产活动中等是非常重要的.利用电、磁力实现上述运动机能已......
微致动器(Microactuator)是MEMS实现物理功能的关键器件，是MEMS应用研究中的热点。在IC工业中，先进的CAD系统已有效地用于集成电路的......
微致动器技术作为微机电系统技术的一个核心技术，越来越受到了国内外微机械专业领域内专家的关注。静电刮板式微致动器(Scratch Dri......
微致动器作为微电子机械的核心驱动元件,一直都是MEMS研究的热点和突破点,并在一定程度上成为衡量MEMS发展水平的重要标志。电场活......
本文提出了一种新的非接触式、高灵敏度微致动器输出力矩动态测试方法 ,以非接触测量代替接触测量 ,改间接测量为直接测量 ,最大限......
首先介绍了基于磁流体微泵的工作原理,并且根据Navier-Stokes公式推导出了磁流体在梯度磁场中所产生的驱动力大小。然后,回顾了磁......
期刊
介绍了微电磁致动器的工作原理和结构工艺,研究微型碟形飞行器周围特殊的空气流场,在碟翼的翼缘安装MEMS微致动器阵列,扰动边界层......
设计制作了一种基于MEMS技术的微气泡型致动器，并对前缘布置有微致动器的三角翼进行了数值模拟，结果表明：微致动器可以改变三角翼前缘......
介绍了电流变技术在微型机械系统中的应用,特别介绍了三通口微型电流变阀的结构特点、制造工艺、基本特性,并通过实验模型阐述了这......
提出了V型电热硅微致动器的弯曲振动力学模型。考虑到微米尺度上的硅梁难以简化为质量块、弹簧振动模型,采用了连续体建模,据此可......
从经典二阶振荡系统的传递函数入手,根据MEMS反射镜的开环瞬态响应实验,对模型的参数进行辨识,考察了模型在静态状况下静电力和弹......
根据超磁致材料(giant magnetostrictive material,GMM)磁-机耦合能量转换的本构关系,采用有限元(FEM)耦合迭代方法,设计了超磁致......
惯性冲击式压电微电机是近年来出现的一种新型驱动装置。阐述了微电机的工作原理和运动过程，提出了几种机械结构的设计方法并进行了......
<正> 在许多微系统工程的研究工作中,预测微致动器有着巨大的应用潜力。因为在不断增多的微型化中有了适当的标度,又因为有可能在......
本论文围绕微型热致动器的研制开发，对热致动方式进行较为深入研究，利用硅微细加工工艺制造出多种型热致动器，并进行了理论分析和实验......
磁致伸缩薄膜是一种性能优异的微驱动元件.本文针对磁致伸缩薄膜-基体结构中薄膜磁致伸缩系数与层合结构变形之间关系的问题,从经......
根据超磁致材料的磁-机能量耦合转换机理,用有限元耦合迭代方法,设计了超磁致材料微致动器,在此基础上,利用超磁致材料微致动器的......
一、引言微致动指致动机构能够产生微米～纳米级的运动。应用于精微操作中的微致动机构,致动器本身并未微小化;而在微型机械领域,其......
由于磁流体具有磁性，如果在磁场作用下力的平衡发生变化，会因磁流体的流动而产生压力。将这种现象用到微系统中，可以获得1～1000mbar数......
选择Terfenol-D作为微致动器主要材料,采用弹簧对GMM棒施加一定的预压力以获得较大的磁致伸缩应变,采用偏置磁场消除GMM棒的倍频现......
日本是推进微型机械研究最为积极的国家之一，并试图在这一新的研究领域确立其领先地位。本文介绍财团法人微型机械中心，丰田中央研究......
设计、制作并分析了一种用于高密度硬盘磁头精确定位的新型压电厚膜微致动器．采用流延技术制备PMN-PZT多层膜元件，使用丝网印刷工艺......
MEMS技术在未来的发展中有着重要的意义.本文介绍了MEMS微致动器和各类驱动模式的优缺点,并以微泵为例,详细比较了致动器的执行机......
本文提出了一种新的非接触式，高灵敏度微致动器同矩动态测试方法，以非接触测量代替接触测量，改间接测量为直接测量，最大限度地减少中间......
为了解决微致动器结构功能函数不能明确表示的可靠度分析问题,以BP神经网络、响应面法为基础,提出了求解可靠度的几何分析新方法:......
介绍了硬盘磁头中的压电薄膜微致动器，用层合梁理论分析了微致动器的致动原理，得出了致动力与压电薄膜层数成正比。用有限元软件对粘......
研制了一种应用压电陶瓷的微进给机构用以驱动金刚石探针做纳米级微压入，并通过与现有激光原子力显微镜的激光反馈信号与工作台进给......
对双热臂电热微致动器的温度场分布研究,直接关系到结构参数的设计。分析温度场研究的数学建模,计算温度场的相关参数,研究热对流......
结合三角翼气动特征,介绍了两种用于三角翼前缘涡控制的MEMS微致动器,它们通过扰动边界层的分离,打破三角翼前缘分离涡的对称性,从......
针对电流变柔性微致动器所用的驱动电源，在理论上探讨了呈直流供电方式的工以此为基础设计了驱动电源的电路结构，然后针对驱动电源的......
介绍了稀土超磁致伸缩微致动器的结构、工作原理 ,给出了基于功率MOSFET管的超磁致伸缩执行器驱动电源的电路 ,实验表明该驱动电源......
以锆钛酸铅（PZT）薄膜作为驱动材料，制备了变形镜的微致动器阵列．使用有限元软件对致动器进行了模拟仿真，得到了驱动器上电极尺寸、Si弹......
作为微制造平台主动隔振系统微致动器核心部件,超磁致伸缩微致动器的工作性能将直接影响整个系统的控制精度.选择Terfenol-D作为微......
<正>1背景简介众所周知,最新的传感器都采用微机电系统(MEMS)技术。基于MEMS的元器件(传感器和致动器)在大约10年前开始进入穿戴产......
微致动技术是微型机电系统(MEMS)设计制造的重要技术基础。本论文围绕微型热致动器的研制开发,对热致动方式进行较为深入研究,利用......
提出基于体外超声波供能的体内微致动器和微电源设计方案。微致动器、微电源内有超声波吸收液体,将体外发射到体内的超声波吸收转......
磁流变液的驱动与控制在微观和宏观流体的驱动与控制有很大的不同,在微观条件下驱动与控制技术更为复杂和多样化,本文将在宏观模型......
