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MEMS技术在未来的发展中有着重要的意义.本文介绍了MEMS微致动器和各类驱动模式的优缺点,并以微泵为例,详细比较了致动器的执行机制和原理.
MEMS微致动器的研究
【摘 要】
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MEMS技术在未来的发展中有着重要的意义.本文介绍了MEMS微致动器和各类驱动模式的优缺点,并以微泵为例,详细比较了致动器的执行机制和原理.
【机 构】
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西昌学院物理系,电子科技大学微电子与固体电子学院
【出 处】
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微纳电子技术
【发表日期】
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2004年9期
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