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本文采用射频等离子体化学气相沉积（RF-PECVD）技术，以C2H2 为碳源，Ar 为稀释气体，在普通PET瓶内制备类金刚石（Diamond-like Carbon,D......
研究开发低价,稳定,高效的的太阳电池是一项长期而艰巨的任务。而非晶硅/单晶硅异质结太阳电池既利用了低温的薄膜沉积工艺,又发挥......
硅异质结太阳电池(HIT)因兼具晶硅电池的高效率、高稳定性和硅基薄膜太阳电池的低温工艺、低成本而受到国际光伏领域的广泛关注。......
本课题采用射频等离子体增强化学气相沉积（RF-PECVD）技术，以SiH4、CH4和H2为反应气体，在单晶硅和石英衬底上制备a-Si:H/a-SiC:H多层薄......
非晶硅锗薄膜具有吸收系数高、带隙可调的优点，可大幅度地提高太阳光的吸收效率并拓宽光谱响应的范围，是非常有前景的叠层太阳能电池......
对RF-PECVD技术沉积p-nc-Si:H薄膜材料进行了研究.随着功率的增大材料的晶化率增大.B的掺杂可以提高材料的电导率,同时会抑制材料......
