热丝CVD法相关论文
本文采用热丝化学气相沉积法(Hot Filament Chemical VaporDeposition，HFCVD)，在具有复杂形状的硬质合金整体式铣刀表面沉积了一层均......
金刚石以硬度高、摩擦系数低、热导率高及耐腐蚀性好等特性,在工业领域得到了广泛的应用。CVD金刚石涂层刀具是一种新型的切削刀具......
本文探求了工具上应用最广泛的硬质合金上利用热丝法沉积金刚石薄膜的原理，并着重讨论了在该系统中影响金刚石薄膜质量的几个因素:......
金刚石具有高热导率、高机械强度、宽带隙和高电阻率、高电子迁移速率等优异的性能，在微电子器件特别是在高温高辐射条件下工作的电......
全硅叠层太阳能电池是第三代太阳能电池概念中的一种,因与硅工艺兼容而受到普遍关注。其中核心的部分即是带隙可调的硅基介质硅纳......
该论文简要回顾了化学气相沉积(CVD)金刚石薄膜研究的历史沿革和最新进展,并在此基础上着重介绍了作者用热丝CVD法研究硅衬底上纳......
该论文回顾了化学气相沉积(CVD)金刚石薄膜研究的历史与进展,并在此基础上着重介绍了作者用热丝CVD法研究硅与硬质合金衬底上纳米......
本文使用热丝ＣＶＤ法着重研究了基底表面的处理、工作气压、碳化物的含量、基底温度、灯丝温度以及基底与灯丝间距离等对金刚石膜生长速......
由于金刚石薄膜具有优良的高温压阻特性,适合于制作高温压力传感器。在Φ50mm〈100〉硅单晶衬底上用热丝CVD法生长本征多晶金刚石......
运用热丝CVD技术在单晶硅片上沉积金刚石膜,金刚石微晶将优先在基片表面缺陷处生长。经研磨粗糙的硅基材表面上金刚石的晶粒密度,......
介绍化学气相法（Chemical Vapor Deposition,CVD）制备CVD金刚石薄膜涂层拉丝模方法,并在线材的拉拔生产过程中对其性能进行了应用研......
应用 TG-DTA 热分析仪,对不同结构致密程度和结晶完好程度的热丝 CVD 金刚石薄膜样品进行热稳定性分析,并讨论了影响金刚石薄膜抗......
使用热丝ＣＶＤ研究了碳源种类，氧气含量，灯丝温度，基底与灯丝间距离及异常辉光放电等对金刚石膜生长速度的影响，在此研究的基础上，优化工艺参......
沉积气压对CVD金刚石涂层沉积的质量有着重要的影响。实验采用单一变量法,在其他工艺参数一定的条件下,考察了不同沉积气压下涂层......
以酒精为碳源，用热丝ＣＶＤ法对不同表面状态的Ａｌ２Ｏ３衬底进行了金刚石薄膜沉积的比较，用扫描电镜，喇曼光谱和Ｘ射线衍射等方法检测了沉积出的金刚石......
煤液化减压阀的工作条件非常苛刻,对其阀座、阀芯等关键部件在高温、高压差、高固态浓度流体冲蚀条件下的抗冲蚀磨损性能及使用稳......
化学气相沉积（Chemical Vapor Deposition,简称CVD）金刚石涂层具有十分接近天然金刚石的高硬度、高耐磨性、高弹性模量、极高的热导......
在硅和硬质合金基体上，用热丝CVD法生长出金刚石薄膜。利用X衍射、拉曼谱和扫描电镜对金刚石薄膜的结构形貌进行了检测，并与天然金刚......
热丝法是一种比较成熟的气相合成金刚石膜的方法，其其它方法比较，热丝法在工艺参数对金刚石薄膜的结构和质量的影响、界面的形成、薄......
化学气相沉积（chemical vapor deposition,CVD）金刚石薄膜具有硬度高、摩擦系数低、耐磨性强以及表面化学性能稳定等优异的机械及摩......
人造金刚石膜在生产中有着非常巨大的使用价值，不论在机械、热学、光学或半导体以及声学和现代军事等方面都能发挥其强劲的作用。热......
利用热丝CVD工艺制备金刚石薄膜已被广泛证实 ,热丝CVD工艺具有许多优点 ,但也存在诸多不足 ,如成核困难 ,生长速率低 ,原材料浪费......
在硬质合金的Cu、Ni、Cr电沉积过渡层上采用热丝CVD法沉积出金刚石薄膜。利用SEM和Paman对金刚石薄膜进行了研究，对影响膜基结合强......
研究了热丝ＣＶＤ法金刚石薄膜本征内应力随甲烷的体积分数（０．４－１．２％）、生长温度（８００－１０００℃）等生长工艺参数的变化关系。在所研究的工艺参数范围内，金刚石薄膜......
提高金刚石薄膜的表面质量和附着力是实现CVD金刚石涂层在耐磨器件领域中广泛应用的关键因素。本文通过优化沉积工艺参数,采用直拉......
微细零部件系统是微小尺度范围内综合机、电、液等技术而形成的高新技术产品,广泛应用在绿色能源、信息电子、航空航天、工业生产......
金刚石具有优异的力学、热学、光学、电学和声学性能，引起了各界科学工作者的广泛关注。对金刚石的研究已成为材料、物理和化学界的......
化学气相沉积(Chemical Vapor Deposition, CVD)金刚石薄膜优异的性能，如极高的硬度、弹性模量、热导率、良好的自润滑性和化学稳定......
化学气相沉积(Chemical Vapor Deposition, CVD)金刚石薄膜具有硬度高、摩擦系数低、耐磨性强以及表面化学性能稳定等优异的机械及......
