电容式加速度计相关论文
MEMS加速度传感器是重要的惯性测量器件,在消费电子、汽车、航天航空等各领域都得到了广泛应用,其中MEMS电容加速度计所具有的高精......
MEMS加速度计因其体积小、功耗低及灵敏度高等优点被应用在医疗、电子消费、汽车自动驾驶及航天航空领域。加速度计是由传感器及其......
在分析了电容对电荷的传输特性的基础上,提出了一种新的集成化电容式加速度计ASIC接口电路,文中阐述了电路的工作原理以及相关的特......
电容式加速度计(K-BEAM)具有与笨重粗大且较昂贵的伺服式加速度计相近的测量能力,并有体积很小,重量极轻的优点.电容式加速度计可......
随着我国航天工程的技术发展,对航天器用惯性器件的小型化和轻量化的需求越来越高,研究微电子机械系统(Micro electromechanical s......
本文简要介绍了一种基于MEMS技术设计制作的,具有零频、高分辨率和自检功能的高精度电容式加速度传感器.该传感器采用差动电容作为......
本文介绍了一种新型的电容式加速度计的设计方法和加工工艺.采用电容极板面积变化型检测电容和折叠型弹性梁提高了加速度计的线性......
期 页 期 页 田高扩队硅压力传感彬扩酞电阻一致性的有效方法 ·传感器技术…………………………………………………………….(1、......
本文根据微加速度计的结构特点,分析了单晶硅的力学特性,并且利用有限元方法对微电容式加速度计敏感芯片弹性梁的刚度、应力、应变......
分析了偏置电压对系统的影响,重点研究不同偏置电压设置对电容加速度计的影响,得到一系列变化曲线。最后指出偏置电压极性为正-负......
为了改善微机电系统(MEMS)电容式加速度计的噪声特性,提出了一种基于开关电容的低噪声闭环接口电路。该电路采用电荷积分器作为前......
低温共烧陶瓷(LTCC)技术是实现电子设备小型化、高密度集成化的主流封装/组装集成技术,可适用于耐高温、耐受恶劣环境下的特性要求......
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该文主要讨论电容式加速度计的测量控制电路。电路采用静电再平衡方法，激励信号作为调制信号加在激励电极上，信号从加速度计板块输出......
设计了一种针对闭环加速度计的新型自检测结构.详细描述了这种基于电荷注入的自检测功能的原理.针对时分反馈闭环加速度计,从理论......
电容式加速度计广泛应用于国防、航空航天、汽车、通信等军用民用领域,是当前市场的主流和研究的热点。随着应用领域的不断扩大,单......
矢量水听器由于其体积小、质量轻、灵敏度高、工作频带宽、单只“8”字形指向性等诸多优点,在小型声纳、声纳浮标、拖曳阵及解决左......
MEMS加速度计应用到惯性导航领域的一个主要困难是性能指标（零偏和标度因数）的稳定性差。而外界环境温度波动以及器件发热是造成加速......
微电子机械系统(MEMS)是一个发展十分迅速、应用日渐广泛的领域,其中以加速度计为代表的MEMS传感器是目前应用最为广泛的MEMS器件......
深迪公司研发推出6轴IMU惯性传感器SH200i产品,产品具有性能稳定、可靠性高、维护简便等优点。此次推出的6轴IMU惯性传感器SH200i......
高Q值MEMS电容式加速度计因具有很小的机械噪声,满足于高精度测量的需要,但欠阻尼的传感器系统动态性能较差,因此需要在闭环检测电......
高g加速度计具有高过载、高响应速度、高环境压力以及体积小和价格低等特点。我们开发的新型电容式加速度计,具有10万g的量程,能够......
设计了一种新型结构的体硅工艺梳齿电容式加速度计，该设计采用2个检测质量块，分别检测水平方向和垂直方向的加速度。x，y水平方向不对......
从MEMS电容式加速度计基本原理入手，介绍了电容检测电路在传感器测控中的作用，并针对微电容检测时外部信号调节模式不同，归纳并分析了......
电容式MEMS加速度传感器是研究最多的一种微加速度传感器。通过分析电容式加速度传感器工作的基本原理，和对传感器结构设计、梁的设......
详细分析了一种电容式加速度传感器的工作原理,设计了基于这种电容式检测原理的加速度传感器.该传感器能将线加速度产生的惯性力转......
基于微机械工艺制作的加速度计,广泛采用差动结构电容变化来反映被测量的方向和大小。近年来针对该需求研制了检测微小电容变化的......
为了减小电容式加速度计的体积，提高检测精度、扩展应用范围，采用厚膜混合集成工艺，将检测电路和电容式加速度计敏感单元集成于一体。......
为提高微电容式加速度计的线性度和工作带宽,在设计微电容式加速度计的检测电路时,要使系统工作在闭环状态下,通过静电力反馈的方......
设计了电容式加速度计的信号检测电路，与电容式加速度计敏感单元进行联调和测试，并进行了标定。为减小体积，提高电容式加速度计的检测......
阐述了采用静电力自动调整微机械(MEMS)电容式加速度计零点的基本原理,设计了数字电位器MAX4502与单片机接口的自动校零电路,并给......
通过对MEMS电容式加速度计的差分电容检测电路优缺点的比较，结合直流充放电检测方法和交流测量方法的优点，设计了微分检测电路，用方波......
本文主要介绍电容式加速度计采用差动电容检测电路的数学原理,着重阐述微加速度计的电容变化率为微弱输入信号的检测技术实现.并在......
增大传感器振子的质量和静态测试电容可以减小电容式MEMS惯性传感系统的噪声，而深度粒子反应刻蚀工艺由于复杂的工艺原因，当深宽比较......
设计了电容式加速度计的信号检测电路。与电容式加速度计表头进行了联调和测试。并进行了标定。为减小体积。提高电容式加速度计的......
针对电容式微加速度计中的气膜阻尼问题，基于稀薄气体动力学理论和滑流修正的压膜雷诺方程，分析了敏感质量块在轴向运动中受到的气膜......
提出了一种新型高灵敏度横向电容式硅微加速度计.根据差分电容极板间正对面积的改变来检测加速度大小,保证输出电压与加速度之间的......
介绍了用于中间弹道测试的电容式抗高过载低量程加速度计设计原理、动态标定方法，限位器结构的设计。实验表明，此传感器不仅能承受膛......
介绍了一种电容式抗高过载低量程加速度计差动脉宽调制电路的工作原理以及振荡电路和信号处理电路的设计,经过实验调试,证明此电路......
高g加速度计具有高过载、高响应速度、高环境压力以及体积小和价格低等特点。我们开发的新型电容式加速度计，具有10万g的量程，能够实......
电容式静电力反馈加速度计只有在敏感质量工作于对称点位置附近微小范围内时,系统可以近似成为线性系统。但由于敏感表头的加工误......
基于滑流修正的气体压膜雷诺方程,分析了矩形截面电容式微加速度计的敏感质量块在轴向运动中受到的气膜阻尼;指出了质量块受到的气......
论述了闭环控制的原理，即通过静电力反馈来实现平衡控制。并通过计算保证了闭环控制系统的稳定性。可见，闭环工作下的电容式加速度计......
电容式加速度传感器的弹性元件在不同温度条件下存在不同形变,导致传感器的零输入响应产生变化,影响了系统的线性特性。为此,采用A......
目前开关电容式微机械加速度计在国内外具有很高的研究价值,具有众多优点的电容式加速度计在军事和民用领域有很好的应用前景。加......
对比典型的差动电容结构，设计了一种新的折叠梁电容式MEMS低g（g=9．8m／s^2，当地重力加速度）值加速度计，指标为量程0～±2g，横向灵敏度＜3％。......
采用0.5μm CMOS集成电路工艺,设计出一种应用于电容式加速度计中的新型低失调、低功耗放大器。分析了放大器对加速度计系统性能的......
介绍了一种新型基于滑膜阻尼的电容式微机械加速度计。该加速度计根据差分电容极板间正对面积的改变来检测加速度大小,保证了输出......
