【摘 要】
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针对微米/纳米尺度高精度测试问题,结合近些年发展的扫描探针显微技术及其技术成熟的微探针技术,提出微探针测头与高精度位移机构相结合是解决微/纳米结构及器件尺寸的一种有效方法,同时对利用微探针进行测量后出现的理论与技术问题进行了分析,提出了解决方法,并给出了典型的实验系统,证明在微/纳米尺度进行测量是可行的.
【机 构】
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哈尔滨工业大学精密工程研究所(哈尔滨);中国工程物理研究院核物理与化学研究所(绵阳) 哈尔滨工业大
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针对微米/纳米尺度高精度测试问题,结合近些年发展的扫描探针显微技术及其技术成熟的微探针技术,提出微探针测头与高精度位移机构相结合是解决微/纳米结构及器件尺寸的一种有效方法,同时对利用微探针进行测量后出现的理论与技术问题进行了分析,提出了解决方法,并给出了典型的实验系统,证明在微/纳米尺度进行测量是可行的.
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