【摘 要】
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以高反射率的SiO2/Ta2O5介质膜DBR作为反射镜,并利用激光剥离技术,制备了GaN基垂直腔面发射激光器(VCSEL)。在光泵条件下,实现了低阈值蓝光激射,阈值能量密度为6.5mJ/cm2,激射波长为449.5 nm,半商宽小于0.1 nm。重要性能指标达到了国际先进水平。
【机 构】
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中国科学院半导体研究所集成光电子学国家联合重点实验室,北京 100083 厦门大学物理系/半导体光子学研究中心,福建厦门 361005
【出 处】
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第十五届全国化合物半导体材料、微波器件和光电器件学术会议
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以高反射率的SiO2/Ta2O5介质膜DBR作为反射镜,并利用激光剥离技术,制备了GaN基垂直腔面发射激光器(VCSEL)。在光泵条件下,实现了低阈值蓝光激射,阈值能量密度为6.5mJ/cm2,激射波长为449.5 nm,半商宽小于0.1 nm。重要性能指标达到了国际先进水平。
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