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本文阐述了“逐层”设计的理论基础，膜材选择的基本原则，推导了多层膜反射率递推公式。以光学工程中常用材料熔融石英和硅为基底，运用MATLAB软件，用解析加复平面作图法，设计了对应于50～200nm波段的高反膜系。与单层膜和常规周期多层膜相比，这种设计方法可以明显地提高强吸收波段的反射率。
真空紫外高反膜的“逐层”设计
【摘 要】
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本文阐述了“逐层”设计的理论基础，膜材选择的基本原则，推导了多层膜反射率递推公式。以光学工程中常用材料熔融石英和硅为基底，运用MATLAB软件，用解析加复平面作图法，设计了
【机 构】
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北京卫星环境工程研究所,北京 100094
【出 处】
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中国真空学会2012学术交流会
【发表日期】
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2012年期
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