“十四五”时期是我国全面建成小康社会之后,开启全面建设社会主义现代化国家新征程的重要时期,国家审计工作也面临新的形势和任务。面对新时期的变化,审计工作也要适应新要求、新形势,揭露新问题、新情况,提出对应的整改意见,顺应时代要求进行方法的改变与提升。随着审计信息化程度的提高,审计数据数量增大,审计难度提升,对审计工作的开展提出了新的挑战。需要审计人员加强审计技术方法创新,充分运用现代信息技术开展审计,提高审计质量和效率。专项资金的审查在政府审计当中是非常重要的一部分内容,在传统的审计方法中,审计人员进行一些数据整理和分析工作时,在重复机械操作上花费时间过多,影响了审计效率。因此本文将RPA（机器人流程自动化）技术应用于审计中,以S市科技创新专项资金审计项目为例,探究RPA技术在审计中的应用可行性。本文归结了目前自动化技术在审计中的应用、RPA技术研究和专项资金审计的研究现状,在此基础上分析了专项资金审计的现状、目前审计方法中存在的问题,以及审计技术优化的趋势。而RPA技术模拟人机交互的功能可以提高审计工作效率,提高审计工作质量,适合用于专项资金审计中一些重复机械的操作。因此在案例分析环节,本文结合S市专项资金审计项目,通过在实际案例中引入RPA技术,完成了收集审计数据、预处理与分析数据、识别PDF文件等多个流程的自动化,证明了RPA技术可以提升审计工作的效率。本文的创新点在于,以专项资金审计项目为例,探究RPA技术在审计中应用,在审计方法中融入新兴的自动化技术,并选择适用的软件,帮助审计人员更好地履行其审计监督职责,改善了传统审计方法中审计效率低的问题。同时本文将RPA技术应用于财政专项资金审计中,促进了审计信息化的研究,在专项资金审计项目中应用RPA技术对审计工作进行自动化设计,也可以进一步促进RPA技术的理论研究发展。