【摘 要】
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CF VCD机台(Vacuum Dry Pump)是一种通过真空/低压抽气的方式降低光阻内溶剂沸点以便达到真空干燥的目的,一般VCD机台位于黄光制程涂布机与软烤机中间的工序.目前一般生产厂
【机 构】
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南京中电熊猫液晶显示科技有限公司制程技术部 江苏南京210033
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CF VCD机台(Vacuum Dry Pump)是一种通过真空/低压抽气的方式降低光阻内溶剂沸点以便达到真空干燥的目的,一般VCD机台位于黄光制程涂布机与软烤机中间的工序.目前一般生产厂家CF使用3~4台VCD机台同时工作以便降低整体的VCD Tact Time,从而降低制程的Tact Time来提升产能.
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